青島潔凈室生產(chǎn)設備工業(yè)設計選用

    為實現(xiàn)在潔凈室內(nèi)使用防塵、防污染的生產(chǎn)設備和輔助生產(chǎn)設備，在工業(yè)設計和選用設備是應該遵循的一些基本要求。青島潔凈室生產(chǎn)設備工業(yè)設計選用

   設備表面光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學物質(zhì)。這里不能只理解為設備外表面，應該包括設備的所有可能與潔凈室生產(chǎn)環(huán)境接觸的表面和可能與電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程接觸的表面，也包括這些表面的制作材料。某些電子產(chǎn)品與一些化學物質(zhì)在制作過程中或在電子產(chǎn)品的使用過程中可能發(fā)生化學反應，影響某些電子產(chǎn)品的性能參數(shù)，所以要求設備表面不揮發(fā)化學物質(zhì)。

    在電子工業(yè)潔凈室內(nèi)，常常按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求配置有在生產(chǎn)運行中將會散發(fā)微?；蚺艧崃看蠡蚺懦鲇卸尽⒖扇細怏w的設備，如半導體器件、集成電路生產(chǎn)中的擴散爐、外延爐、刻蝕機、離子注入設備、氣相沉積設備等，此類設備一般均沒有局部排風設施。

    由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需要，某些設備必須跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室時，應采取固定隔斷或接空氣幕等可靠的密封隔斷措施。

    保護潔凈室內(nèi)工作人員的身體健康，潔凈室內(nèi)噪聲容許值，因此安裝在潔凈室內(nèi)的設備應選用符合要求的低噪聲設備，由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程或設備設計、運行條件的限制，所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應根據(jù)具體工程項目的實際條件采取相應的隔聲措施。